О Компании Сервисный центр Нефтехимия Экология Сотрудничество Контакты
  
Мы на facebook Контакты
От намерений к реализации  
 
Санкт Петербург
phone8(812)300 60 00
phone8(812)449 09 11
Нижний Новгород
phone8(831)215 87 30
пн-пт 9.00 - 18.00, сб, вс
 
Каталог
Анализ нефти и нефтепродуктов
Анализ металлов и сплавов
Экологический мониторинг
Анализ качества пищевых продуктов
Лабораторное оборудование
Лабораторное оборудование ULAB
Весы лабораторные
Испытательное климатическое оборудование
Лабораторная мебель
Титраторы
Cервисное и техническое обслуживание лабораторного оборудования и приборов
Биомедицинское и научно-исследовательское оборудование
Лабораторное оборудование Heidolph
Поиск оборудования
 
 
 
  
 
 
 
  
 
 
Спектрометр, Спектрометры элементного анализа >> ИК фурье-спектрометр ФСМ 1201П
Узнать цену
ИК фурье-спектрометр ФСМ 1201П


ИК фурье-спектрометр ФСМ 1201П представляет собой специализированный автоматизированный измерительный комплекс на основе универсального фурье-спектрометра ФСМ 1201. Он снабжен двухкоординатным измерительным столом и позволяет в автоматическом режиме измерять параметры кремниевых пластин в заданных оператором точках для пластин диаметром до 200 мм.

 

ИК фурье-спектрометрия является эффективным инструментом неразрушающего контроля полупроводниковых пластин и структур, что закреплено международно признанными стандартами, определяющими методы измерения концентрации междуузельного кислорода и углерода замещения в кремнии, метод измерения толщины эпитаксиальных слоев для структур типа n-n+ и p-p+, КНС и др. Возможно определение состава слоев ФСС и БФСС, а также параметров диэлектрических слоев.

 
 

Основные контролируемые параметры

  • концентрация междуузельного кислорода (толщина пластин 0.4–2 мм) в пределах: (5x1015–2x1018)±5x1015 см-3 (SEMI MF1188); 
  • концентрация углерода замещения (толщина пластин 0.4–2 мм) в пределах: (1016–5x1017)±1016 см-3 (SEMI MF1391)
  •  радиальная неоднородность распределения кислорода в кремниевых пластинах (SEMI MF951);
  •  толщина эпитаксиальных слоев кремниевых структур типа n-n+ и p-p+ в пределах: (0.5–10)±0.1 мкм, (10–200)±1% мкм (SEMI MF95);
  •  толщина эпитаксиальных слоев кремния в структурах КНС в пределах: (0.1–10)±1% мкм;
  •  концентрация фосфора в слоях ФСС и бора/фосфора в слоях БФСС в пределах: (1–10)±0.2 % вес..
 
 
Спектральный диапазон, см-1
Спектральное разрешение,см-1
Макс размер пластин
Диаметр светового пятна на образце, мм
400-7800
1
200
6


 

Акции, Скидки

Специальное предложение!!!

В наличии на складе. ЗВОНИТЕ!!! Количество ограничено.

Прецизионные весы AND GX-600

Прецизионные весы AND GX-600

85 200 руб. с НДС

Новости
17.05.2016
Изменились контакты

Обратите внимание! Сменились телефонные номера в обособленном подразделении в г. Нижнем Новгороде.

Подробнее
10.03.2016
Обновление в каталоге

Новые позиции товара в категории "Бани и электроплитки"

Подробнее
01.01.2016
С Новым годом 2016!
Уважаемые наши клиенты и партнеры! Примите самые искренние поздравления с Новым годом и Рождеством!
Подробнее
Справочная информация
    Скачать Сертификаты
    Справочник по ГОСТ
    Стандарты ASTM