8(812)300 60 00 
| Спектрометр, Спектрометры элементного анализа >> ЛЮМАС-30 |
Масс-спектрометр «ЛЮМАС-30»
«Люмас-30» представляет собой новый тип элементного анализатора, предназначенный для прямого анализа монолитных, тонкослойных и порошковых материалов: металлов, полупроводников и диэлектриков, а также объектов со смешанной слоистой структурой диэлектрик-металл, металл-полупроводник и диэлектрик-полупроводник (например, коррозионные пленки на поверхности металла).
Путем сочетания газоразрядной системы ионизации и времяпролетного механизма детектирования ионов удалось реализовать высокую эффективность распыления поверхности пробы, высокую скорость регистрации масс-спектров во всем диапазоне регистрируемых масс и высокую чувствительность для большинства элементов.
Принцип действия основан на процессах:
- высокоэффективной атомизации анализируемых образцов в результате катодного распыления в импульсном тлеющем разряде как проводящих, так и непроводящих электрический ток твердотельных материалов;
- импульсной ионизации атомов образца в плазме тлеющего разряда как в период свечения, так и в период послесвечения тлеющего разряда, что позволило достичь близких чувствительностей для широкого круга элементов;
- высокоскоростной (до 5000 спектров/с) регистрации времяпролетных спектров.
Анализируемые объекты:
- металлы;
- полупроводниковые материалы;
- диэлектрики;
- объекты со смешанной слоистой структурой диэлектрик-металл, металл-полупроводник и диэлектрик-полупроводник (например, коррозионные пленки на поверхности металла);
- порошковые пробы.
Техничесакие характеристики:
|
Пределы обнаружения |
20-50 ppb |
|
Послойное разрешение |
3 нм |
|
Погрешность определения |
2-7 % |
|
Динамический диапазон |
8 порядков |
|
Количество одновременно определяемых за один аналитический цикл элементов |
не ограничено |
|
Время анализа одной пробы |
3-25 мин |
|
Время выхода на рабочий режим при первичном включении |
30 мин |
|
Питание |
200 В |
|
Потребляемая мощность |
1100 ВА |
|
Вакуумная система |
"Сухой" форвакуумный насос и 2 турбомолекулярных насоса (250 л/мин и 70 л/мин) |
|
Балластный газ |
Ar или Ar+H2 |
|
Расход балластного газа |
1 балллон (40 л) в год |
|
Диапазон измеряемых масс |
1-400 a.e.m. |
22.01.2019